Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
visos plokštelės tapatintuvas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. full wafer aligner vok. Gesamtwaferjustieranlage, f rus. установка совмещения по всему полю пластины, f pranc. aligneur sur la tranche entière, m … Radioelektronikos terminų žodynas
kaukės tapatintuvas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. mask aligner vok. Maskenjustieranlage, f rus. установка совмещения маски, f pranc. aligneur de masque, m … Radioelektronikos terminų žodynas
submikrometrinis kaukės tapatintuvas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. submicron mask aligner vok. Maskenjustieranlage für den Submikrometerbereich, f rus. установка совмещения с субмикронной точностью, f pranc. aligneur à précision submicronique, m … Radioelektronikos terminų žodynas
prošvaisinis tapatintuvas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. proximity aligner vok. Mikroabstandsjustierungsgerät, n rus. установка совмещения с микрозазором, f pranc. installation de photolithographie à micro écart, f … Radioelektronikos terminų žodynas
projekcinis tolimojo ultravioleto tapatintuvas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. deep ultraviolet projection aligner vok. Projektionsjustier und Belichtungsanlage mit extrem kurzwelligem Ultraviolettlicht, f rus. проекционная установка с дальним ультрафиолетовым излучением … Radioelektronikos terminų žodynas
rentgeninis tapatintuvas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. X ray align equipment; X ray aligner vok. Röntgenjustier und Belichtungsanlage, f; röntgenlithografische Anlage, f rus. рентгеновская установка совмещения, f pranc. aligneur de rayons X, m … Radioelektronikos terminų žodynas
pirminis tapatintuvas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. prealigner vok. Vorjustiergerät, n rus. устройство предварительного совмещения, n pranc. préaligneur, m … Radioelektronikos terminų žodynas
automatinis tapatintuvas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. automatic aligner vok. automatische Justier und Belichtungsanlage, f rus. автоматизированная установка совмещения, f pranc. aligneur automatique, m … Radioelektronikos terminų žodynas
optinis tapatintuvas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. optical aligner vok. optische Justier und Belichtungsanlage, f rus. установка оптического совмещения, f pranc. aligneur optique, m … Radioelektronikos terminų žodynas
žingsninis tapatintuvas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. step and repeat aligner; step by step aligner; stepper aligner vok. Überdeckungsrepeater, m rus. установка с последовательным шаговым совмещением, f pranc. aligneur pas à pas, m … Radioelektronikos terminų žodynas
